洁净厂房安全疏散门及防排烟系统设计要点 洁净厂房的消防验收常常困扰业主及工程技术人员。消防讲究在事故时以最短的路径，畅通无阻地撤离火灾现场。因此，消防门不能上锁，需直通室外。而净化厂房的污染控制方法之一是靠密闭、压差来实现，通向室外的门需设置两道且密闭性能要好，消防门根本不能满足这一要求。这一矛盾一直是消防验收的主要矛盾之一。所以，在过去，消防验收时，把安全密闭门打开，验收过后，再把门密封起来，这种做法隐患很大。后来，经过技术人员的努力，把通向室外的安全门改为钢化玻璃落地密封窗，旁边配置不锈钢小锤。火灾时，用小锤击碎钢化玻璃，洁净室工程内的人员逃离现场。密闭落地窗的密封效果很好，即使是

净化厂房排风系统的设计方法洁净厂房中排风口的位置是由生产工艺决定的，排风有如下作用：①排除生产过程中散发的有害气体及粉尘。②排热。如洁净手术室中的排风是要排除麻醉气体、消毒气体及不良气味；片剂车间的排风主要是排除生产过程中产生的药尘；小针剂封装工艺的排风是要排除燃烧产物及生成热。在设计排风系统时，排风量的计算与通风空调工程中的计算类似，在此不再赘述。在这里主要探讨如何科学地设计排风系统，既能满足工艺要求，又能节约能耗。因为排风量增大，新风量也随之增大，能耗必然增加，以固体制剂车间粉碎、过筛洁净厂房为例，来探讨排风系统的设计方法。原辅料进入生产车间后的第一道工序就是粉碎、过筛，而粉碎工序的产尘点

洁净车间设备管理---洁净厂房的设备节能运行 1、净化车间的节能潜力 净化车间是能量消耗大户，这是因为： （1）要使用净化空调系统保持洁净生产环境所必需的空气洁净度等级、压差、温度、相对湿度等要求。 （2）要使用通风换气装置，包括全室或局部的送、排风装置。净化厂房内应根据产品生产过程的要求排除生产过程中产生的粉尘、热量、有机溶剂等，防止污染和交叉污染，与此同时需向洁净室内送入相应的或必需的室外新鲜空气。根据不同的空气洁净度等级的要求需要有一定的换气次数/排风量。 （3）为进行正常的产品生产，净化厂房内的生产工艺设备需按产品的特点供应电力、纯气、纯水、高纯化学晶体等，这些也需消耗

洁净车间设备管理--生产工艺设备和工器具的防污染管理措施 以大规模集成电路生产用洁净室为例：生产工艺设备和工器具的防污染管理措施中较彻底的方法是实现生产过程自动化，不再采用手工操作方式运送硅片，不再用镊子进行硅片的装送，以杜绝设备、工器具和人身带来的污染。同时，随着硅圆片直径的不断增大，人工操作已不能适应工艺生产需求，所以全面实现自动化操作已不仅是改善生产环境空气洁净度的需要，而且与改善企业的经济利益密切相关了。 又例如某硅片自动化输送系统，又一种或数种生产工艺设备组成微环境加工区，将这些加工区按产品生产工艺要求进行组合形成产品生产流水线，在两个加工的交接点上设置储料器，用它来缓冲由

洁净车间无尘环境的维护--保洁班次要点 保洁活动最好安排在洁净室内正常活动的暂停期间进行。此时产品被遮盖，保洁活动不会影响工艺。但即使污染风险低，保洁员工作时仍应遵守标准洁净室协议。 1、单班或两班生产 单班或两班生产时，有足够的空闲时间供保洁人员按规程要求去完成绝大部分清洁工作。 2、周一至周五三班生产 三班生产情况下，周末通常可供保洁人员按日程要求完成部分影响较大的清洁工作。 3、连续7天生产 对于连续生产的洁净室，按照保洁要求完成各种日常清洁任务具有高度挑战性。 4、保洁频次 保洁频次取决于生产工艺、设备、工作强度、员工数量、产品和洁净室的洁净度要求。并非所有表面

洁净车间无尘环境的维护---保洁的规程在主要针对控制活污染物的洁净车间，可能需要不同的清洁步骤或不同的清洁顺序。一般来说，清洁应从洁净度等级要求最高的区域开始，逐步向低要求的。1、顶棚现场若有离子化装置，洁净顶棚前必须关闭。（1）布满HEPA过滤器的顶棚。在与HEPA过滤器比邻相接的场所，为保护过滤器，只能使用干式吸尘器清洗过滤器之间的格架。根据网络布局，吸尘沿一个方向运动。（2）未安装HEPA过滤器的顶棚。未安装HEPA过滤器的顶棚处应使用吸尘器，并采用浸有清洗液的洁净车间专用抹布或拖把擦拭。灯泡通常仅在安装时擦拭。（3）灯具。使用浸有适合洁净车间的清洁剂（不腐蚀透光件的表面）的专用抹布擦拭

洁净车间无尘环境维护管理-基本概念洁净车间的环境维护管理是指洁净车间工作人员对洁净厂房进行清扫、清洗和消毒，同时确定清扫、清洗和消毒的时间和检查验收指标。对洁净厂房的打扫和清洗需要相当专业的认识，以下介绍相关的基本概念。一、基本概念1、表面颗粒物净化车间内物体表面黏附颗粒物的机理有:范德华力（表面非湿态时的主要黏附机理）、静电力（若设施带有良好防静电设施，该力通常很小）、毛细力等。清楚颗粒物时借助液体，这是由于液体可将范德华力降低若干数量级，并驱散静电力，若液体中含有表面活性剂，也可通过减少表面张力来降低毛细力的作用。离子型表面活性剂能改变物体表面电势，从而减少静电力。同时，液体能有效利用清洁

洁净厂房进出物质----固定设备1.固定设备的安装程序最有效的措施是在安装阶段用临时的隔墙或隔断把设备所在位置与洁净厂房隔离开来。为不妨碍设备安装，在设备周围应留出足够的空间，但同时也要注意隔离区空间要适度，不宜过大。ISO 14644-5“运行篇”建议的操作程序及其他注意事项如下：（1）设备应该能通过服务通道或其他非关键区进入隔离区，如不可能则应采取措施尽量减少污染。例如，只有通过相邻的洁净厂房才能进入隔离区时，应该采用粘垫除掉鞋底附着的污染物。进入隔离区后，要求使用一次性靴子或鞋套，以避免污染洁净服。离开隔离区时要脱下这些一次性物品。（2）该隔离区的气压相对于周边应维持中性或负压。完全封闭

  洁净车间固定设备的进入、安装与维修 那些进入洁净车间就位后就固定不动或相对固定的大型设备，例如洁净厂房生产工艺用的自动机械加工设备、隔离性装置、排风罩等，通常处在洁净室关键工序的周围，它们一旦被安装到位，再次移动不仅十分困难，而且对洁净室的环境条件也影响较大。对于这类大型设备，首先要求供应商在生产制造时务必在洁净环境中，而且其包装材料、方法也应符合洁净室要求。 1、固定设备进入的程序应该在管理计划中尽可能避免发生大型固定设备进入“动态”洁净室的情况，也就是说洁净室投付正式运行后还要进入大型固定设备。因为在这种特殊情况下，洁净室按LSO14644-2“证明持续符合LSO 14

洁净厂房外部供应的物品及其包装-气闸室传递 通过气闸室传递物品和小件设备任何洁净室都不免要和其他低洁净级别区发生物品传递的情况，减少传递过程中污染物的侵入是重要日常管理工作。通常使用气闸门、缓冲间以避免洁净室外的空气直接进入洁净室内。在气闸室的两个门均关闭时，从外走廊在开门时侵入的污染以及使用气闸室的人所散发出的污染均被气闸室的送风所稀释。材料传递气闸室的两个门如同人身净化的吹淋室一样，一般都是联锁的。这样就可以确保一扇门关闭之前另一扇门是不能打开的，防止外部较低洁净级别或非受控区的空气直接进入洁净室。可采用电气联锁，也可以是机械联锁。粘垫则放在气闸室人口处或者气闸室内。粘垫的作用是防止鞋底