洁净车间设备管理--生产工艺设备和工器具的防污染管理措施
以大规模集成电路生产用洁净室为例：生产工艺设备和工器具的防污染管理措施中较彻底的方法是实现生产过程自动化，不再采用手工操作方式运送硅片，不再用镊子进行硅片的装送，以杜绝设备、工器具和人身带来的污染。同时，随着硅圆片直径的不断增大，人工操作已不能适应工艺生产需求，所以全面实现自动化操作已不仅是改善生产环境空气洁净度的需要，而且与改善企业的经济利益密切相关了。
又例如某硅片自动化输送系统，又一种或数种生产工艺设备组成微环境加工区，将这些加工区按产品生产工艺要求进行组合形成产品生产流水线，在两个加工的交接点上设置储料器，用它来缓冲由于生产工艺设备生产速度不同、单片处理和分批处理的不同以及其他原因造成的物流部平衡。设置储料器后，加工区之间的输送就成为储料器之间的输送，加工区内的输送则为储料器与生产工艺设备之间、生产工艺设备与生产工艺设备之间的传送。洁净厂房设计时，应根据建筑平面与空间、人员通行于操作、生产设备的移动与维护以及共用动力设施和管线等的实际情况进行综合协调，选择不同的方式、不同的布置。

净化厂房：

资料来源：广州净化工程　www.gdsanhui.com