洁净车间生产工艺设备的防污染管理洁净车间生产工艺设备的防污染管理:什么是无尘车间?洁净车间是指空气悬浮粒子浓度和含菌浓度受到控制,达到一定要求或标准的房间,房间的建造和使用方式要尽可能减少引入、产生和滞留粒子(包括尘粒和菌粒),房间内其他相关参数如温度、相对湿度和压力按要求进行控制。在净化工程内产品的生产过程中,生产设备的尘粒污染是不可忽视的,据资料介绍,在大规模集成电路生产过程中生产设备的发尘量要占总微粒污染量的30%左右,可见其影响之大,污染的类型除了影响制作微细图形的微尘污染外,还有可使器件特性恶化的钠、钾等碱金属和铜、铁等重金属的分子或分子级污染,所谓生产设备的污染,虽然有的是生产工艺固有的污染,但是还有源于设备制作