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洁净车间生产工艺设备的防污染管理
来源:广东三汇净化科技有限公司 人气:129 发表时间:2015-05-14

洁净车间生产工艺设备的防污染管理:
什么是无尘车间?洁净车间是指空气悬浮粒子浓度和含菌浓度受到控制,达到一定要求或标准的房间,房间的建造和使用方式要尽可能减少引入、产生和滞留粒子(包括尘粒和菌粒),房间内其他相关参数如温度、相对湿度和压力按要求进行控制。
在净化工程内产品的生产过程中,生产设备的尘粒污染是不可忽视的,据资料介绍,在大规模集成电路生产过程中生产设备的发尘量要占总微粒污染量的30%左右,可见其影响之大,污染的类型除了影响制作微细图形的微尘污染外,还有可使器件特性恶化的钠、钾等碱金属和铜、铁等重金属的分子或分子级污染,所谓生产设备的污染,虽然有的是生产工艺固有的污染,但是还有源于设备制作材料、生产过程中的原辅材料(包括反应气体、输送气体、吹扫气体和清洗用纯水等)、工器具使用不当和机械运动及其润滑剂等的各类污染,还有在产品生产过程中由于操作失误造成的不应有污染,各种洁净车间内产品生产的实践表明,加强洁净室内产品生产过程中生产工艺和设备的管理,的确是降低室内污染程度,提高产品质量的重要措施,要十分认真细致地观察净化工程内的生产设备在运转过程中可能发尘的情况,特别是运输装置,运动部件,机械手等可能的污染源,还有各类泵、风机等的电动机内部轴承之间的摩擦,并针对这些污染源的情况制订相应的管理措施和必要的对策

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资料来源:净化工程公司  www.gdsanhui.com

 

 

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