无尘车间平面布置-物料净化路线
各种物料在送入洁净区前必须经过净化处理，简称“物净”
有的物料只需一次净化，有的需二次净化，一次净化不需室内环境的净化，可设于非洁净区内，二次净化要求室内也具备一定的洁净度，故宜设于洁净区内或与洁净区相邻
物料路线与人员路线应尽可能分开
如果物料与人员只能在同一处进入洁净室，也必须分门而入，并且物料应经粗净化处理
对于生产流水性不强的场合，在物料路线中间可设中间库
如果生产流水性很强，则采用直通式物料路线，有时还需要在直通路线中间设多个净化、传递设施，物料分别由两个入口沿两条路线进入，其中多晶硅材料要通过几个传递窗，从多晶切割到籽晶清洗、腐蚀、烘干，不断净化直到准备投料
在系统设计上，物料用房的粗净化和精净化阶段由于会吹落很多微粒，所以只设排风，或既有净化送风，消毒措施，又有排风，但都应对洁净区保持负压或零压；如果污染危险性大，则有的对入口方向也应保持负压

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