洁净室排风系统的局部排风

 1）洁净厂房内的各种生产过程中不可避免地将会有各类粉尘、有害气体、有害物质的产生，防止它们在洁净室内扩散或造成污染的有效方法是在产生处采取局部排风措施及时有效地将污染物排至室外。为此，《洁净厂房设计规范》（GB 50073-2001）规定：洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备，应设局部排风装置。应根据各类工艺设备产生的粉尘、有害气体和有害物质的性质、浓度等因素选择设置合理的局部排风装置。以下情况的局部排风系统应单独设置：

 a.排风介质混合后能产生或加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸危险性和发生交叉污染。

 b.排风介质中含有有毒与无毒物质，且毒性相差非常大。

 c.同时存在易燃、易爆与一般排风。

2）在设计洁净室的排风系统时，应采取以下措施：

a.为防止在洁净室空调系统停止运行时，室外空气倒灌入室内，引起污染和积尘，应采取防倒灌措施。工程常用的方倒灌措施有：①设置中效空气过滤器，这种方式结构简单、维护方便；②采用止回阀，使用方便，但密封性较差；③采用密闭阀，密封性好，但结构复杂，管理不便；④采用自控装置。

b.含有易燃、易爆局部排风系统时，应采用与排除物质相适应的防火、防爆措施。

c.排风介质中有害物浓度及排放量超过国家或地区有害物排放浓度及排放量规定时，应进行无害处理，达标后才能排入大气。

d.对含有水蒸气和凝结性物质的排风系统，排风口应有一定坡度，以便及时排出凝结液。

洁净厂房内的换鞋、存外衣、洗浴、厕所和淋浴等生产辅助房间，应采取通风措施，其室内的静压值，应低于洁净区。

洁净室应根据生产工艺要求设置事故排风系统。事故排风系统应设自动和手动控制开关，手动控制开关应分别设在洁净室及洁净室外便于操作的地点。一般对于有可能散发有害气体或易燃、易爆气体的洁净室（区）应设事故排风系统。