洁净厂房规范推荐的换气次数
来源:广东三汇净化科技有限公司 人气:2126 发表时间:2013-07-03
洁净厂房规范推荐的换气次数
国际标准ISO14644-4曾对微电子行业洁净度给出推荐的换气次数表下表
微电子行业洁净度换气次数(动态)
洁净度级别 |
换气次数(次/h) |
洁净度级别 |
换气次数(次/h) |
6 |
70-160 |
8 |
10-20 |
7 |
30-70 |
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根据该标准对换气次数应用实例的说明,表中的换气次数是动态下的数值。洁净工程
国标《洁净厂房设计规范》给出了下表所列的换气次数
国标推荐的换气次数(静态)
洁净度级别 |
换气次数(次/h) |
洁净度级别 |
换气次数(次/h) |
6 |
50-60 |
8-9 |
10-15 |
7 |
15-25 |
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《洁净厂房设计规范》在编制说明中指出:“洁净室送风量计算所用的数据是参照国际标准ISO14644-4而编制,其中,换气次数系统根据我国实际情况确定的”说明所指空气洁净度级别系指静态,所以国标的换气次数是静态的,特别指出“如果设计时业主提出了要按动态进行验收时,则另行处理”但是始终未明确指明ISO标准是动态标准。
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