洁净室空调系统分类 洁净室空调系统一般可分为集中式和分散式两种类型。
集中式洁净空调系统是洁净设备(如加热器、冷却器、加湿器、粗中效空气过滤器、风机等)集中设计在空调机房内,用风管将洁净空气送进各个洁净室。分散式洁净空调系统是在一般的空调环境或低级别洁净空调环境中,设置净化设备或洁净空调设备(如净化单元、空气自净器、层流罩、洁净工作台等).在半导体芯片工厂或其他生产过程要求高洁净度的洁净厂房中,其洁净空调系统采用循环空气方式,其循环方式主要有集中式、隧道式、风机过滤单(FFU)方式和微环境+开放式洁