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光学微电子工业洁净厂房
来源:http://www.gdsanhui.com 作者:张思 人气: 发表时间:2020-07-01 00:17:35

       电子工业洁净厂房生产环境的设计应根据生产工艺的要求控制微粒和对产品质量有害的杂质,同时还应提出温度、湿度、压差、噪声、振动、静电防护、照度等参数的要求

      洁净室的空气洁净度等级应按现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定执行

      电子产品生产用洁净厂房与其他工业洁净厂房的重要区别之一是一些电子产品生产对化学污染物有严格的要求,如微电子产品中需严格控制生产环境中的重金属、有机物的含量、同时也有一些化学物质对产品的生产影响极大,应予严格控制

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     电子工业洁净厂房的总平面布置时,在充分考虑电子产品生产工艺特点和具体工程项目中洁净厂房内各功能区(包括洁净生产区、辅助生产区、非洁净生产区、公用动力系统和办公等功能区)合理布置的情况下,在合理的进行人流、物流组织,方便运行维护管理、合理布置公用动力管线、降低能量消耗、确保安全生产的条件下,常常将电子工业洁净厂房组合式、大体量的综合性厂房布置。

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电子工厂洁净厂房是能源消耗量大、建设投资大的厂房,为了使洁净厂房的建设获得较好的节能和经济效益,从洁净室型式的选择开始就应认真地分析比较,选择即满足电子产品生产工艺要求,又能做到降低能耗、减少建设投资和降低运行费用等需求。

工艺布局应充分考虑电子产品发展的灵活性,以满足电子产品生产工艺改造和扩大生产的需求。

附表:1.各类电子产品生产对空气洁净度等级的要求

           2.电子产品生产间/工序的火灾危险性分类举例

           3.精密仪器、设备的容许振动值举例


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 注:各种电子产品生产环境的空气洁净度等级应根据生产工艺要求确定;无要求时,可按以上附录A确定

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表中房间在设备密闭性良好,并设有气体或可燃蒸气报警装置和灭火装置时,应按丙类设防,否则仍应按甲类设防。

    ② 屏锥加工车间中低熔点玻璃配制和低熔点玻璃涂复间面积超过本层或防火分区总面积5%时,生产类别应为乙类设防。  

    ③ 光缆外皮采用发泡塑料时,该生产线应为丙类。

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